真空泵开始工作后，一般需要一定的时间才能逐步使工作容器的真空度到达泵的标称真空度。如果上升过快，一般是因为工作真空容器容积小，或者介质气体流量远大于需要的流量。

  正常情况下，当真空度达到设定值时，真空容器的压力就会被压力传感器感应到，然后压力传感器是把信号给控制模块，由控制模块判断压力是不是达到设定值了，如果达到了控制模块就让泵停止工作，而压力传感器到泵停止的动作都是需要时间的，这段时间内，真空度就足以上升几个千帕。真空容器的容积小，相应的真空度上升就会很快，如果同时流量大，就可能出现真空度迅速上升甚至超过设定值的情况。比如说您设定的真空度是-20kpa，结果启动泵后真空度在停机前就迅速升至-25kpa超出了设定范围，这不是故障问题，解决的办法包括：1、增加流量调节阀将流量调小；2、采用调速真空泵，降低转速，减少流量；3、换用流量较小的型号。