无油真空泵工作原理常见的有三种，分别与容积泵、爪泵和低温泵相似。

    无油真空泵工作原理一种是通过容积变化，在体积大的时候吸入空气，在体积变小时(压力变大)排出空气，容积变化是靠着活动的机械部件来实现的，要求有很小的间隙并且有很高的精度，比如爪泵。

    另一种是依靠非常高的机械动转速度，将空气分子定向撞击而携带走，如分子泵。三是低温泵，在接近零度的冷面上，几乎所有的空气分子都被冷冻捕集在表面。

    无油真空泵大的有点是不返油，对被抽空间没有油蒸汽污染，不喷油，没有油蒸汽从泵口排出，不污染环境，属于环保类产品，因此发展前景很好，被称为二十一世纪“绿色真空泵”。

    无油真空泵又称干式泵，主要包括旋片式、活塞式、螺杆式、涡旋式、涡轮式、爪型泵等等。

无油真空泵在日常使用和维护时，需要注意以下事项：

1、应具有充分良好的通风条件及低于40℃的环境温度。

2、无灰尘及脏物的清洁场所。

3、无水、油等液体会降落到泵上。

4、不直接暴露在阳光里。

5、有足够的周围空间能便于泵的检查，维护和装拆。

6、泵必须安装在平坦的平面上。

7、好将泵放在类似混凝土坚硬的地基上安装，如果没有条件，也可将泵牢固地安装在钢制或木制的机架上。

8、必须确保泵不因基础不牢固而引起震动。

9、与泵连接管道不宜过长和小于泵进口径，影响抽速，同是注意检查真空连接管道有否漏气。

10、接电线时，应注意电机铭牌上的规定接线要求。三相电泵要注意电机旋转方向应与泵上的标示箭头方向一致。